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      半导体辅助设备

      • 激光清洗机
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      激光清洗机激光清洗机

      激光清洗机

      • 激光
      • 清洗机
      • 高效
      • 产品描述:laser cleaner

      激光清洗机


      与机械摩擦清洗、化学腐蚀清洗、液体固体强力冲击清洗、高频超声清洗等传统清洗方法相比,激光清洗具有明显的优点:
      1、激光清洗是一种”绿色”的清洗方法,不需使用任何化学药剂和清洗液,清洗下来的废料基本上都是固体粉末,体积小,易于存放,可回收,可以轻易解决化学清洗带来的环境污染问题。
      2、传统的清洗方法往往是接触式清洗,对清洗物体表面有机械作用力,损伤物体的表面或者清洗的介质附着于被清洗物体的表面,无法去除,产生二次污染,激光清洗的无研磨和非接触性使这些问题迎刃而解。
      3、激光可以通过光纤传输,与机器手和机器人相配合,方便地实现远距离操作,能清洗传统方法不易达到的部位,这在一些危险的场所使用可以确保人员的安全。
      4、激光清洗能够清除各种材料表面的各种类型的污染物,达到常规清洗无法达到的清洁度。而且还可以在不损伤材料表面的情况下有选择性地清洗材料表面的污染物。
      5、购买激光清洗系统虽然前期一次性投入较高,但清洗系统可以长期稳定使用,运行成本低。

      依据基底材料的特性、基底表面的精度、表面粗 糙度及微粒污染物的种类,可以将目前的激光清洗方法分成以下两大类。
      1、激光干式清洗法。激光直接照射在物体表面,污染微粒或表面吸收能量后,通过热扩散、光分解、气化等使微粒离开表面。

      2、激光湿式清洗法。在欲清洗的材料表面喷上一些无污染的液体(主要是水,有时也采用酒精),然后用激光照射,液体介质吸收激光能量后,产生爆炸性汽化,把其周围的污染微粒推离材料表面。 此外还有人提出了所谓的激光复式清洗法。激光能量被基底材料吸收,然后通过热对流,把吸附的中间介质加热,中间介质产生爆炸性汽化,在高气流的推动下,微粒随同中间介质一起脱开基底表面。



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