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      半导体辅助设备

      • 划片机??
      划片机??

      划片机??

      划片机
      Scribe100划片机是一款设计用于划割和分离微型元件,诸如GaAs和Si晶圆的设备。该设备可以按序划割和分离晶圆等,并且保证元件整洁和完整无伤。
      在分离时,Scribe100使用聚酯薄膜层来托住元件同时线型刀沿着中心线升高以便分离。薄膜层帮助元件阻拦污染或重压。全部参数都由控制键盘设定。这是一款稳定,抗振动,和易操作的设备。




      划片刀头
      角度可调Z向运动
      划割力可调:3gr-100gr,。恒定重量
      金刚石工具:角度和旋转是可调的
      带十字线的工具补偿

      晶圆台
      晶圆支架:最大4英寸
      元件尺寸:最小200um
      晶圆厚度:80um以上
      手动旋转:90度
      螺旋仪调整旋转合轴
      XY位移台/显示分辨率1um
      运动方向可控

      观测系统
      匹配应用范围的光学放大
      合轴:程序控制或手动
      17寸TFT显示器和高精度彩色摄像头
      目标产生器
      LED光源


      分离
      分离模式:手动控制或自动控制
      分离模式:使用顶部聚酯薄膜层和底部切割刀
      聚酯薄膜:可移除以便预防污染
      基于应用需求的可调提供多层顶部聚酯层方案

      可设定参数
      步进参数和垂直间隔
      Y划割速度可调,0.1-20mm/sec。
      程序化控制划割长度
      重复性划割
      划割总次数
      元件总数
      底部接触速度
      划割计数

      安装要求
      电源:230VAC,0.5kW
      压缩空气:70psi
      真空度:60%
      尺寸:450mm&700mm*500mm
      重量:80kg


      上一个:轮廓仪 下一个:空气监测系统
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